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DL-1400型全自动光学镀膜设备

DL-1400型 全自动光学镀膜设备

产品特点:

光学镀膜机配置有扇形多片夹具或拱形单工件盘,可镀制层数较多的短波通、长波通、减反射膜、滤光片等应用于光学镜头或光学仪器上的视窗玻璃或分光元件,利用人机界面触摸屏+PLC全自动晶振膜厚仪构成全自动控制系统,可以实现参数录入、过程监控及数据存储等功能,可设定工艺流程并自动执行,使镀膜膜层重复性、光学性能稳定性有质的提高,解决了人工手动操作复杂性、膜层颜色、光学性能不一致等问题。
适用范围:特别适用于光学镜头、电子产品、亚克力钻、玻璃钻、树脂钻、灯具、手机视窗、眼镜、舞台灯光等,可镀制增透膜、滤光片、幻彩、红五彩、红、黄、绿、蓝等七彩颜色。
技术参数:



设备型号:
DL-1350A
DL-1400A
DL-1600A

真空室尺寸:

1350x1250
1400x1300
1600x1500

制模种类:

光学增透膜、减反射膜(AR)、宽带增透、单点增透、截止滤光片、七彩装饰功能膜等
工件夹具:
拱型四片装夹、拱型单工件盘公转、三工件盘行星公自转
真空室结构:
立式前开门、卧室前开门(304不锈钢)、后置真空系统
真空系统:
滑阀泵(旋片泵)+罗茨泵+扩散泵+维持泵(或选配:分子泵、深冷泵、深冷系统)
加热系统:
发热管上加热方式,PID控制,最高温度350度
工作气体系统:
质量流量控制仪+电磁阀
电子枪:
由成都金雅克电气有限公司制造
电阻蒸发源:
2组电阻蒸发源
离子源:
功率5KW,阳极电流最大10A。双灯丝(自动切换)提高附着力、膜层密度、稳定折射率。(霍尔源)
极限真空:
8x10 pa(空载、净室)
抽气时间:
空载大气至5x10 pa小于15分钟
控制方式:
手动+半自动+全自动一体化/触摸屏+PLC
备注:
真空室尺寸可按客户产品及特殊工艺要求订做